现在市场上的光刻机，都是步进式进给，浸入式刻法，其理论最小线路宽度，在7nm以上。能做到32nm，已经是兰光公司的极限了。而asml，已经将这个技术，发展到了16nm。但他们也进入了极限状态，很难有任何提高了。”
郑国霖一脸懵逼。
尼尔森看到了他迷惑的眼神，不由微微笑一下说：“我没说任何专业术语，你还是听不懂，对不对？”
这还不是专业术语呢？
尼尔森就闭眼想想说：“好吧，我换一种说法。兰光公司的这个浸入式设备，已经面临淘汰，迫使他不得不投入很多的资金和人才，来研究euv光刻机。而据说这个技术，asml已经有了突破。”
“等等。”郑国霖打断她问，“什么叫euv？”这个词他听着耳熟。
尼尔森回答说：“就是极紫外光。你知道，光波越短，越容易被吸收掉。这样，最终通过掩膜投影到晶圆镀膜上的光线，就很难达到要求的强度。但越短的光波，分辨率就越好，可以在单位面积晶圆上，制造更多的二极管。
这个极紫外光，理论上可以达到3nm的线路宽度。当然了，这里面又要牵扯摩尔定律，就不和你解释了，你只是听就可以了。”
郑国霖心说，我听也得能听明白啊？得，死记硬背吧，回去鹦鹉学舌跟专家学一遍，看里面有没有有用的东西。
就听尼尔森继续说：“浸入式技术，刻录的光线需要经过一层水膜，光线损失很大，无法和euv联合使用，这是个遗憾。所以浸入式光刻机，在不久的将来，是要被淘汰掉的。
兰光公司深知这一点，这是他们不惜成本，全力以赴攻关euv光刻机的根本原因。可惜，到现在为止，他们还是不能投入实际运用。”
说到这里，尼尔森突然不说了。
时间已经很晚了，郑国霖还是一头雾水，什么有用的东西都没听到。
他还不敢着急，只能静静地等着尼尔森的下文。
过了差不多有一分钟，尼尔森才说：“做为兰光公司的资深技术管理人员，我有幸参与了公司这个研究团队。虽然兰光公司至今还没有成功，但是，还是有了许多技术上的突破。
比如，极紫激光光源波段的纯化，我们设计了一种特殊的玻璃晶体，这个恐怕asml都不见得知道。而这个玻璃晶体的配方和构造，我是知道的。”
郑国霖还是不置可否。他根本不知道对方在说什么。
就听尼尔森继续说下去。
“极紫光源很容易在经过反光镜组和掩膜的时候被吸收掉，这就需要效率极高的反光镜，更多的收集照射光源。