“许振😗鸣是外行人,📓🚟能知道这台光刻机的技术原理么?”
“锦上添花没有雪中送🌃炭来得划算,我还是等到最后再亮出底牌才好。”
犹豫半天🈱🂉,梁宋松还是忍住了,没把自己♾🎂的判断和设想说出来。他📖🚶🗴转过脸去,开始安排自己小组的实验流程工序。
这时。
郝宁教授的🄗小组成员已经🝍进入状态,把激光能量测试仪、激光光谱分析仪⚦、激光头焦距测试仪等各种仪器调试好,随时可以进入测试状态。
见郝宁教授小组的准备工作已经就绪,梁宋松伸手捋了捋头上油光泽亮的头发,表情严肃的下令:“郝教授,咱们开始试验,🄸第一步是测试激光能量的🉣衰减率。”
“😈开始试验!把能量测试仪调整到自动调节🈯🁱运行状态,每一个0.001毫米的高度测试一☺🄙♦组数据。”郝宁扫了一眼梁宋松,随后就进入工作状态。
激😈光光路系统的能量测试难度非🗃常大,空间高度每相差0.001毫米,激光在空气中消耗的能量就会衰减一个数据级。而激光能量的最终值会影响到激光曝光的强度,影响到芯片光刻物理线路图的精度。
梁宋松之所以把这个测试项目放在第一步,也正是因为如此。🔐⛜🛍但他此时却不慌不忙,好像已☺🄙♦经知道测试以后的数据一般。
“第🂤一个节点数据正常,激光能量衰减度低于0.009的数据级。”
“😈第二个🈱🂉节点数据也正常🝍,能量衰减度低于0.0095的数据级。”
“第三个节点数据更漂亮……”
随着激光能量测试靶子的不断下降,工作站监视器上的数据在不断跳动着。郝宁等人看着数据,嘴里也不🝡自觉的说出测试数据的结果。
这些数据都在规定范围之内,表明这套米国佬生产🐞🁀🂭的激光光路系统质量非常稳定。
“老米的产品质量的确非常好。”
“谁说不是呢。体积小🌃功率大,噪音也小,功耗还🐞🁀🂭非常低。要是我们生产的激光光路系统能达到这种标准就好🖭🕸了。”
“我们的激光发生🐿🅣🈙🐿🅣🈙器做不到这一点。机械加工精度不如人家、光学仪器加工精度不如人家、光学材料的质量不如人家。我们拿什么来人家比?”
胡磊🂤和李峰两个老头子,一边关注着监视器,一边无奈的摇着头。他们在赞叹这台🛐🛢激光光路系统的同时🖸,又有点无可奈何。
作为华夏国培养出来的第一代光学工程专家,他俩要比大多数华夏工🇶🜿程更具有集团荣誉感📄😐🀠。☺🄙♦在他们青春年少的时代,华夏国就连最普通的军用望远镜都要从东德和捷克进口。